为满足净化实验室温湿度要求,宜配备机械空调通风系统,有特殊要求的可增设设计要求,如增设净化要求并按净化要求进行送回(排)风系统设计等。这方面,应重点处理好以下几个问题:
对于净化空调系统的加湿问题而言,常用的加湿方法有很多种,无尘净化室,有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿,净化室定制,这些加湿方法属等焓加湿过程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极(电热)加湿是向空调送风中喷蒸汽,净化室安装,其加湿方法属等温加湿过程。从---洁净室内相对湿度的精度而言,上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高,故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时不采用。
送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型pf发泡塑胶板。4.送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。光学微电子净化工程解决方案:净化工程的设计过程中,应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程,并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。
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