复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(clean tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,风淋净化室,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
净化实验室 -如何选购净化设备:
局部照明这是为增加某一地点(如工作点)的照度而设置的照明。但在室内照明由一般不单独使用局部照明。(3)混合照明这是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按<洁净厂房设计规范>应占总照度的10%—15%,但不低干150lx。 单位被照面积上接受的光通量即是照明单位勒克斯(lx)。
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