为---洁净室净化工程内所必须的空气洁净度,洁净室净化工程设计中涉及到的各个设计均应采取妥善的、---的技术措施,以减少或防止室内产尘、滋生微生物,减少或阻止将微粒微生物或可能会造成交叉污染的物料带人洁净室净化工程内,有效地将室内的微粒微生物排出,以减少或防止它们滞留洁净室净化工程内。对于因尘粒脆生物或物料的交叉污染会危害产品雨量或人身安全时.还应采取安全、ke靠的技术措施防让交叉污染,如严格控制不同用选的洁净室净化工程之间的静压差,福州净化室,按要求合理地划分净化空调系统以及回风系统的妥善设计等。
并装局部洁净室(clean spot):将洁净室等级10,000~100,净化室厂家,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,净化室安装,采用独立之hepa或ulpa及空调送风机组而成为一较之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(clean tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
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